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“AZO靶材”参数说明
| 镜面材料： | 铝抛光镜 | 产量： | 1000 |
“AZO靶材”详细介绍
AZO靶材主要技术指标：
＊化学成分：98wt.％ZnO，2wt.％Al2O3或按用户需要提供；
＊纯度：3N或4N；
＊相对密度：＞＝99.5％；
实测密度＞＝5.60g／cm3
＊靶材电阻率：5 x 10—4Ω（表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值）；
＊膜电阻率：采用射频磁控溅射，基片加热温度220℃，在最佳工艺条件下：2.17 x 10—4Ω。cm；基片加热温度450℃，在最佳工艺条件下：9.06 x 10—5Ω。cm
＊目前能提供的最大尺寸：400mm x 200mm x 9mm.
＊化学成分：98wt.％ZnO，2wt.％Al2O3或按用户需要提供；
＊纯度：3N或4N；
＊相对密度：＞＝99.5％；
实测密度＞＝5.60g／cm3
＊靶材电阻率：5 x 10—4Ω（表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值）；
＊膜电阻率：采用射频磁控溅射，基片加热温度220℃，在最佳工艺条件下：2.17 x 10—4Ω。cm；基片加热温度450℃，在最佳工艺条件下：9.06 x 10—5Ω。cm
＊目前能提供的最大尺寸：400mm x 200mm x 9mm.
